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微区膜厚测量仪与反射光度计

产品介绍:

用于微米级表面尺寸光学反射率,薄膜厚度及膜层材料光学参数(n&k)的快速测量。可以在0.1秒钟内同时获取单层薄膜厚度和材料光学参数。该仪器可用于各种环境、如实验室、工厂生产线及野外的实时测量。

 

关键优势:

  • 小光斑:测量光斑直径从5μm100μm
  • 测速快:单点测量时间小于0.1
  • 精度高:反射率精度0.1%,膜厚精度达0.2nm
  • 波长范围:350nm1000nm1000nm1700nm
  • 小型便捷:重量2.8公斤,USB连接计算机,软件易学好用

 

应用领域:

  • 光学镀膜:镜片增透膜、高反膜、分光膜测量
  • 医疗器件:内窥镜镜片反射率、内聚对二甲苯保护层、医疗器械表面涂层测量
  • 半导体制造:二氧化硅(SiO2)、氮化硅(Si3N4)、ITO(氧化铟锡)、有机发光层、聚酰亚胺(PI)、光刻胶厚度测量
  • 太阳能电池:氮化硅减反射膜、氧化铝钝化层测量


 

产品规格:

参数

技术指标

测量内容

反射率,膜层厚度及光学常数(n&k

光斑尺寸

5μm10μm50μm80μm100μm

膜厚范围

15nm100μm,精度为0.2nm

测量时间

单点测量时间小于0.1

光谱范围

350nm1000nm1000nm1700nm

样品尺寸

1mm100mm

仪器重量

2.8公斤

仪器尺寸

29 x 23 x 25cm

数据处理

USB数据传输,配套软件Film_Analyzer

操作系统

Windows10及以上系统

电源

100-240 VAC50/60Hz0.4A

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