衍射光学元件（Diffractive Optical Element，DOE）通常采用微纳刻蚀工艺构成二维分布的静态衍射单元，每个衍射单元可以有特定的形貌、折射率等，对激光波前位相分布进行精细调控。激光经过每个衍射单元后发生衍射，并在一定距离（通常为无穷远或透镜焦平面）处产生干涉，形成特定的光强分布。
产品参数
工作波长
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193nm-2600nm
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材质
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熔融石英
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尺寸
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3mm-25.4mm
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分束维度
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一维到三维
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均匀度
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95%
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分离角度
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0.001°- 60°
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衍射效率
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64%-95%（根据要求定制）
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